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显微式激光测振仪

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项目介绍

显微式激光测振仪（Micro System Analyzer）可用于MEMS领域的压电片、三维惯导、压力传感器阵列等微小、复杂结构的三维可视模态测试。

这种非接触式、可视化、高精度的测试方法，代替了传统的电测法，帮助用户清楚的观察和测量一个结构的动态特性并准确以视频、图片和数据的形式描述出来，

显微式激光测振仪通过非接触，数字显微和目前测量动态特性及振动精度最高的激光多普勒测振原理，快速，高效，精准获得压电片的区域振动数据，除了传统二维数据的曲线描述和分析，

还可以通过模态动图方式更直观表现，解决传统电测方法不可视，精度低，没有过程数据无法进行研究等问题。

样品要求

1.样品台200mm✘200mm，高度10cm以内；

2.用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级；振幅0.5mm以内都可测试；

3激光光斑小于4μm，横向分辨率极高；测试距离大，可达38mm；实时振动测量，高达 25MHz 的大带宽。

项目案列

传感器振型三维分析图

常见问题

应用领域包括？

典型应用领域包括：惯性传感器，如加速度计和陀螺仪；微机电传感器和致动器 (MEMS) ；打印机喷墨头；压力传感器薄膜；耳机、微型镜头等。

尤其适用于MEMS领域的压电片、三维惯导、压力传感器阵列等微小、复杂结构的三维可视模态测试。

学术文章

探索显微式激光测振仪的先进技术

2024-04-11

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