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项目介绍
显微式激光测振仪（Micro System Analyzer）可用于MEMS领域的压电片、三维惯导、压力传感器阵列等微小、复杂结构的三维可视模态测试。
这种非接触式、可视化、高精度的测试方法，代替了传统的电测法，帮助用户清楚的观察和测量一个结构的动态特性并准确以视频、图片和数据的形式描述出来，
显微式激光测振仪通过非接触，数字显微和目前测量动态特性及振动精度最高的 激光多普勒测振原理，快速，高效，精准获得压电片的区域振 动数据，除了传统二维数据的曲线描述和分析，
还可以通过模 态动图方式更直观表现，解决传统电测方法不可视，精度低， 没有过程数据无法进行研究等问题。
样品要求
1.样品台200mm✘200mm，高度10cm以内；
2.用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级；振幅0.5mm以内都可测试；
3激光光斑小于4μm，横向分辨率极高；测试距离大，可达38mm；实时振动测量，高达 25MHz 的大带宽。
项目案列
传感器振型三维分析图
常见问题
应用领域包括？
典型应用领域包括：惯性传感器，如加速度计和陀螺仪；微机电传感器和致动器 (MEMS) ；打印机喷墨头；压力传感器薄膜；耳机、微型镜头等。
尤其适用于MEMS领域的压电片、三维惯导、压力传感器阵列等微小、复杂结构的三维可视模态测试。
