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薄膜热电参数测试系统（MRS）

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项目介绍

测试薄膜材料的塞贝克系数和电导率。

测试范围：塞贝克系数：S ≥ 8µV/K；电阻率：0.1µΩ•m~ 106µΩ•m。

相对误差精度：赛贝克系数≤±5%，电阻率≤±5%；

温控方式/温度范围：81K-700K；

样品要求

1.样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，保证与铜片接触良好；

2.薄膜材料厚度最低可至 50nm，其均匀性有较高要求，薄膜厚度达到微米级别较好，长 x 宽:10*10mm；

3.薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜，如玻璃、Si 等材料

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