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白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪

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项目介绍

测试样品表面的粗糙度和三维形貌；材料表面的起伏，平整度；凹坑的深度和面积等；

影像三坐标可以测试样品的空间位置：平行度、垂直度以及对角线距离等。

样品要求

1. 样品需平整；

2. 样品尺寸不超过50*50mm就可以。

项目案列

常见问题

白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪/接触式轮廓仪，是一样的吗？

不一样。前两个属于同仪器，是无接触式的光学照射测量，而接触式轮廓仪也叫台阶仪，属于探针接触式的测量，都是用于材料表面形貌测试。

测试样品表面粗糙度可以给出哪些参数？

Ra（轮廓算术平均偏差）；Rq（均方根粗糙度）；Rz（微观不平度十点高度）；Rp（最大轮廓波峰高度）；Rv（最大谷值）。

学术文章

3D光学轮廓仪：非接触式表面粗糙度与形貌测量利器

2023-11-28

一文详解异质结的制备与表征

2022-12-01

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