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自由曲面光学面形测试仪（NMF600S）

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项目介绍

自由曲面光学面形测试仪，尤其适用非对称回转结构的自由曲面测量，如元件表面面形误差分布图，输出PV、RMS及曲率半径误差等参数，测量精度达到15 nm。

样品要求

1、样品尺寸（非球面产品）：φ600mm以内，厚度150mm以内，精度15nm.

2、检测状态：RMS=**mm,PV=**mm（pdf格式),自动定位功能可对非球面、自由曲面、平面、凹面和凸面等各种形状进行短时间、高精度测量。

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