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动态二次离子质谱仪(D-SIMS)

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元素深度分布(Profile)
元素平均浓度(Bulk)
线扫描
二维成像
在美国加州测试,20年测试经验

送样须知:样品要求表面平整;长宽大于7X5mm,厚度小于5mm;样品密封避免粉尘污染; 请注明样品导电性、尺寸、patterned or blanket;注明样品各层结构、主体材质;注入样品请提供注入剂量和能量;掺杂样品请提供大致浓度范围等; 请注明检测的元素;请注明想要得到的数据;注明各元素检测限要求;注明检测的区域和大小。

元素深度分布,元素平均浓度,二维成像,线扫描
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