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    电子背散射衍射EBSD测试的具体分析功能
    来源: 时间:2024-10-11 10:09:44 浏览:630次

    电子背散射衍射EBSD测试的具体分析功能

     

    电子背散射衍射(EBSD,又称为电子背向散射衍射或取向成像显微术(OIM),是一种在扫描电子显微镜(SEM中用于进行晶体学和取向分析的技术。EBSD技术能够对材料进行微观尺度上的晶体取向、晶界特性、相鉴定以及应变分析等,是材料科学研究中的重要工具。

    一、原理

    EBSD技术基于晶体对入射电子束的衍射现象。当高能电子束入射到样品表面时,大部分电子会穿透样品,但有一部分电子会被晶体中的晶格原子散射回来,这些背散射电子在特定的晶体平面会发生衍射,形成衍射花样,称为菊池线;通过检测菊池线并与已知晶体结构的数据库进行对比,可以确定样品中晶体的取向信息。

    二、组成

    EBSD系统通常包括以下几个部分:

    1. 扫描电子显微镜(SEM:提供高能电子束和样品室。

    2. EBSD探测器:收集背散射电子并形成菊池图案。

    3. EBSD相机:记录菊池图案并进行数字化处理。

    4. 数据分析软件:用于菊池图案的索引、晶体取向的计算以及后续的数据分析。

    三、测试步骤

    1. 样品制备:样品需要经过抛光和电解抛光,以获得光滑的表面,便于菊池线的形成。

    2. 样品安装:将制备好的样品安装在SEM样品台上。

    3. 系统校准:对EBSD系统进行校准,确保数据的准确性。

    4. 数据采集:在SEM中逐点扫描样品表面,收集菊池图案。

    5. 数据分析:使用EBSD软件对菊池图案进行索引和取向计算,生成取向 mapping 等分析结果。

    四、分析功能

    1. 晶体取向 mapping

    EBSD能够生成晶体取向分布图,即取向 mapping。通过对样品表面进行逐点扫描,可以获得每个检测点的晶体取向信息,从而揭示材料的微观取向结构;这种分析对于理解材料的变形和再结晶行为至关重要。

    2. 晶界特性分析

    晶界是晶体中不同取向晶粒之间的边界。EBSD技术可以用来识别各种类型的晶界,如低角度晶界、高角度晶界、特殊晶界等;晶界的特性对材料的性能有显著影响,因此晶界分析对于优化材料性能具有重要意义。

    3. 相鉴定

    EBSD可以区分不同的晶体相,即使它们在SEM图像中看起来非常相似;通过分析菊池图案,可以确定样品中的相组成,这对于理解材料的微观结构和性能至关重要。

    4. 应变分析

    EBSD可以用来测量微观尺度上的应变。通过比较晶体理论取向与实际取向,可以确定样品中的应变分布;这对于研究材料在加工和使用过程中的变形行为非常有用。

    5. 纤维晶体分析

    对于具有纤维晶体结构的材料,EBSD可以用来分析纤维的取向和分布,这对于提高材料性能和可靠性具有重要意义。

     

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    12条评论
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    全部 3小时前 四川
    文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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