快捷下单入口 关于 合作 招聘 新人手册 会员中心

    热线:400-152-6858

    测试狗科研服务

    预存 免费试测 登录
    Document
    当前位置:文库百科文章详情
    测量半导体‌电阻率的常用方法——‌‌四探针法
    来源: 时间:2024-10-10 09:42:39 浏览:527次

    测量半导体‌电阻率的常用方法——‌‌四探针法

     

    四探针法是一种测量半导体电阻率的常用方法,它具有操作简单、测量准确度高等特点。

    一、原理

    四探针法基于范德堡原理,通过在样品表面布置四个探针来测量电阻率;这四个探针通常分为两组,其中两个探针作为电流源,另外两个探针作为电压测量端,电流源探针施加恒定电流,而电压测量探针则测量样品表面的电压降;通过计算电流和电压的比值,可以得到样品的电阻率。

    二、操作步骤

    1. 样品准备:首先,需要将半导体样品表面进行清洁和处理,确保表面平整无污染,以提高测量的准确性。

    2. 探针布置:将四个探针按照一定的几何排列(如正方形或直线)布置在样品表面;探针间的距离需要根据样品的厚度和预期电阻率进行调整。

    3. 施加电流:通过电流源探针向样品施加恒定电流;电流的大小应选择适当,以避免样品的电极化或热效应。

    4. 测量电压:使用电压测量探针测量样品表面的电压降;电压探针应尽量靠近电流探针,以减少接触电阻的影响。

    5. 计算电阻率根据欧姆定律,电阻率ρ可以通过以下公式计算:

    ρ = V / (I * d)

    其中,V是电压测量探针之间的电压降,I是施加的电流,d是电流探针之间的距离。

    三、优缺点

    优点:测量速度快,操作简单;可以在不破坏样品的情况下进行非接触式测量;适用于各种形状和大小的样品;受样品表面不均匀性影响较小。

    缺点:探针与样品的接触电阻会影响测量结果;对于非常薄的样品,探针可能会穿透样品,导致测量误差;需要精确控制探针间的距离和电流的大小。

    四、应用

    1. 材料筛选:在半导体材料的生产过程中,四探针法可以用于快速筛选出电阻率符合要求的材料。

    2. 薄膜检测:对于半导体薄膜,四探针法可以用来测量薄膜的电阻率,从而评估其电学性能。

    3. 电阻率 mapping:通过移动探针在样品表面进行多点测量,可以得到电阻率的空间分布图,用于分析样品的均匀性。

    4. 温度依赖性研究:通过在不同温度下进行四探针测量,可以研究半导体材料的温度依赖性电阻率。

    五、实例分析

    1. 晶圆电阻率测量:在半导体晶圆制造过程中,四探针法用于测量晶圆的电阻率,以确保晶圆的质量。

    实例:使用四探针法测量硅晶圆的电阻率,通过调整探针间距和电流大小,得到准确的电阻率值。

    2. 有机半导体薄膜四探针法用于测量有机半导体薄膜的电阻率,以评估其应用于有机发光二极管(OLED)和有机太阳能电池的潜力。

    实例:通过四探针法测量有机薄膜的电阻率,发现薄膜的电阻率随着退火温度的升高而降低。

     

    评论 / 文明上网理性发言
    12条评论
    全部评论 / 我的评论
    最热 /  最新
    全部 3小时前 四川
    文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
    点赞12
    回复
    全部
    查看更多评论
    相关文章

    一文详解扫描电子显微镜(SEM)的工作原理及应用技术

    2023-10-08

    TMA技术的基本概念、应用领域以及实际操作中的要点

    2023-12-06

    恒电流间歇滴定法GITT的基本原理以及测试教程

    2022-08-12

    接触角测试(CA)的原理、样品制备要求及实际应用

    2023-11-16

    详解XRD多晶与单晶材料的差异

    2023-12-21

    热重分析(TG-DTG)曲线的几种解析方法

    2023-12-26

    项目推荐/Project
    四探针测试仪

    四探针测试仪

    热门文章/popular

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(上)

    晶体结构可视化软件 VESTA使用教程(下篇)

    手把手教你用ChemDraw 画化学结构式:基础篇

    电化学实验基础之电化学工作站篇 (二)三电极和两电极体系的搭建 和测试

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(下)

    基础理论丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、谱线结构)

    微信扫码分享文章

    意见反馈

    有奖举报

    商务合作

    ...

    更多

    公众号

    关注我们 了解更多

    小程序

    随时预约 掌握进度

    举报有奖

    TEL: 191-3608-6524

    如:在网络上恶意使用“测试狗”等相关关键词误导用户点击、恶意盗用测试狗商标、冒称官方工作人员等情形,请您向我们举报,经查实后,我们将给予您奖励。

    举报内容:

    200

    上传附件:
    文件格式不正确,请重新上传文件格式不正确,请重新上传文件格式不正确,请重新上传
    文件格式:jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar
    联系方式
    姓名
    电话
    提交意见

    意见反馈

    Suggestions

    您可以在此留下您宝贵的意见,您的意见或问题反馈将会成为我们不断改进的动力。

    意见类型
    测试服务
    网站功能
    财务报账
    其他类型
    意见内容

    200

    联系方式
    姓名
    电话
    提交意见

    收起

    01

    专属信用额度,先测后付0元下单

    02

    下单享高额积分,万千好礼免费兑

    200
    200元无门槛优惠券
    立即激活 立即下单
    已使用
    已作废

    全流程在线可视化,便捷高效触手可及

    如下单过程中有任何疑问或需要帮助,请随时咨询专属顾问~
    9
    9折无门槛优惠券

    支付一笔订单后可领取

    立即领取 立即下单
    已使用
    已作废

    免费测+惊喜盲盒+高额福利,多重福利大放送

    新人免费测

    双双开盲盒(100%中奖)

    邀请人专享

    受邀人专享

    创建/加入团队,解锁定制化权益

    01

    1500元团队专属优惠券

    02

    万元大额信用额度,享先测后付

    03

    团队成员统一开票报销;

    04

    专业工程师课题专属服务

    领取成功,请下单
    请您支付一笔订单后才可以领取优惠券
    Document
    关于我们 新手帮助 测试干货 商务合作 基金查询 相关资质 模拟计算 现场测试 服务项目 科研绘图 同步辐射 电池行业

    联系方式/contact

    400-152-6858

    工作时间/work time

    09:00-18:00

    测试狗公众号

    关注我们 了解更多

    测试狗小程序

    随时预约 掌握进度

    蜀公网安备51010602000648号

    蜀ICP备17005822号-1

    成都世纪美扬科技有限公司

    Copyright@测试狗·科研服务