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文库百科四探针测试仪取样与数据处理方法探讨
来源： 时间：2024-01-31 09:55:03 浏览：2639次
四探针测试仪取样与数据处理方法探讨
四探针测试仪是一种多用途的综合测量设备，主要用于测试半导体材料的电阻率及方块电阻（薄层电阻）。
一、取样方法
1. 探针头的更换与调整
在取样前，需要根据被测试样品的特性选择合适的探针头；轻轻拧开探针头子，然后小心将铜片拉出，记住七片绝缘片与铜片之间的位置，将断针从铜片卡口座里取下即可，在更换探针头时，一定要注意不能将铜片取下时的位置错乱；铜片位置按照航空头四芯1234接线绿红黄黑的顺序一字排列，并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列，以免短接。
2. 探针头的校准
在进行测试前，需要对探针头进行校准；校准的方法是通过主机或计算机软件来调整探针头的间距和力度，确保探针头能够准确地接触到样品表面。
二、数据处理
1. 测试数据的获取
四探针测试仪采用四点探针组合法进行测量；在测试时，通过算法计算分析获得数据，在晶圆测试中，方阻或电阻率是非常重要的参数指标；仪器的设计充分考虑了复杂的计算，把算法及可能的问题都预置到程序中，从而实现简单的一键操作。
2. 测试数据的处理与分析
测试数据可以通过四探针测试仪主机直接显示；此外，也可以与计算机相连接，通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，采集到的数据在计算机中进行分析，以表格、图形的形式直观地记录、显示出来，用户可以将数据在电脑中保存或打印，以备日后参考和查看；此外，还可以将数据输出到Excel中，进行各种数据分析。
3. 测试数据的校正
由于测试过程中可能会受到各种因素的影响，如温度、湿度等，因此需要对测试数据进行校正；校正的方法可以采用标准样品进行标定，或者通过计算机软件进行自动校正。
三、注意事项
1. 设备的保养与维护
为了保证四探针测试仪的准确性和使用寿命，需要定期进行保养和维护；保养的内容包括保持设备和计算机的清洁、卫生，预防高温、过湿、灰尘、腐蚀性介质、水等浸入机器或计算机内部，定期检查，保持零件、部件的完整性等。
2. 操作人员的要求
操作四探针测试仪的人员需要具备一定的专业知识和操作技能；在使用前，应对操作人员进行培训，确保其能够正确、熟练地操作设备。
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