快捷下单入口 关于 合作 招聘 新人手册 会员中心

    热线:400-152-6858

    测试狗科研服务

    预存 免费试测 登录
    Document
    当前位置:文库百科文章详情
    聚焦离子束FIB测试的计量技术规范盘点
    来源: 时间:2022-11-14 15:23:09 浏览:1808次

    聚焦离子束系统采用聚焦的离子束对样品表面进行轰击,并由计算机控制离子束的扫描或加工轨迹、步距、驻留时间和循环次数,以实现对材料的成像、刻蚀、诱导沉积和注入的分析系统。其应用已经从界面检测扩展到纳米图像制备、透射样品制备、三维成像和分析、电路编辑和修复等,在材料科学、生物、半导体集成电路、数据存储磁盘等领域有广泛的应用。


    但由于聚焦离子束系统在长期使用过程中离子束流强度、能量等的变化,导致其测量出现较大误差,对于使用过程中量值准确性的保证、项目验收等都存在极大的困难。所以迫切需要建立聚焦离子束系统的量传体系,为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。


    FIB计量规范的主要技术关键:

     

    1、标准器的选择:根据不同的计量特性,合理地选择校准用标准器,并直接溯源到国家基准。

     

    2、长度测量误差:为了对放大范围内长度测量误差进行全面的校准,需要根据不同的放大倍率选择间距合适的标准器,确保在测量时,图像中可完整显示5个以上周期,以降低瞄准不确定性的影响。通过重心法确定评定长度,重复测量10次,以减少测量不确定度。

     

    3、长度测量重复性:根据长度测量误差校准项目的测量条件,重复测量10次,取实验标准差作为长度测量重复性的校准结果。

     

    4、线性失真度:标准器选择二维标准栅格。在一定放大倍数下,测量二维栅格样板,选取一个栅格,分别平移到图像的中心和四角,各获取一幅图像,分别计算XY方向的线性失真度。

     

    5、正交误差:标准器选择二维标准栅格。为减小正交误差,必须选取正交方向5个间隔以上的周期进行测量,并且重复测量3次,取均值作为示值。


    测试狗文库百科

    评论 / 文明上网理性发言
    12条评论
    全部评论 / 我的评论
    最热 /  最新
    全部 3小时前 四川
    文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
    点赞12
    回复
    全部
    查看更多评论
    相关文章

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(上)

    2019-10-25

    晶体结构可视化软件 VESTA使用教程(下篇)

    2021-01-22

    手把手教你用ChemDraw 画化学结构式:基础篇

    2021-06-19

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(下)

    2019-10-25

    基础理论丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、谱线结构)

    2020-05-03

    Zeta电位的基本理论、测试方法和应用

    2020-08-24

    热门文章/popular

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(上)

    晶体结构可视化软件 VESTA使用教程(下篇)

    手把手教你用ChemDraw 画化学结构式:基础篇

    电化学实验基础之电化学工作站篇 (二)三电极和两电极体系的搭建 和测试

    【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(下)

    基础理论丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、谱线结构)

    微信扫码分享文章

    意见反馈

    有奖举报

    商务合作

    ...

    更多

    公众号

    关注我们 了解更多

    小程序

    随时预约 掌握进度

    举报有奖

    TEL: 191-3608-6524

    如:在网络上恶意使用“测试狗”等相关关键词误导用户点击、恶意盗用测试狗商标、冒称官方工作人员等情形,请您向我们举报,经查实后,我们将给予您奖励。

    举报内容:

    200

    上传附件:
    文件格式不正确,请重新上传文件格式不正确,请重新上传文件格式不正确,请重新上传
    文件格式:jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar
    联系方式
    姓名
    电话
    提交意见

    意见反馈

    Suggestions

    您可以在此留下您宝贵的意见,您的意见或问题反馈将会成为我们不断改进的动力。

    意见类型
    测试服务
    网站功能
    财务报账
    其他类型
    意见内容

    200

    联系方式
    姓名
    电话
    提交意见

    收起

    01

    专属信用额度,先测后付0元下单

    02

    下单享高额积分,万千好礼免费兑

    200
    200元无门槛优惠券
    立即激活 立即下单
    已使用
    已作废

    全流程在线可视化,便捷高效触手可及

    如下单过程中有任何疑问或需要帮助,请随时咨询专属顾问~
    9
    9折无门槛优惠券

    支付一笔订单后可领取

    立即领取 立即下单
    已使用
    已作废

    免费测+惊喜盲盒+高额福利,多重福利大放送

    新人免费测

    双双开盲盒(100%中奖)

    邀请人专享

    受邀人专享

    创建/加入团队,解锁定制化权益

    01

    1500元团队专属优惠券

    02

    万元大额信用额度,享先测后付

    03

    团队成员统一开票报销;

    04

    专业工程师课题专属服务

    领取成功,请下单
    请您支付一笔订单后才可以领取优惠券
    Document
    关于我们 新手帮助 测试干货 商务合作 基金查询 相关资质 模拟计算 现场测试 服务项目 科研绘图 同步辐射 电池行业

    联系方式/contact

    400-152-6858

    工作时间/work time

    09:00-18:00

    测试狗公众号

    关注我们 了解更多

    测试狗小程序

    随时预约 掌握进度

    蜀公网安备51010602000648号

    蜀ICP备17005822号-1

    成都世纪美扬科技有限公司

    Copyright@测试狗·科研服务